Métrologie de la propreté physique - Limites de classes de propreté

Durant cette période, les besoins industriels en propreté particulaire (particulièrement en microélectronique) s'affirment, et les performances des appareils de mesure ainsi que leurs conditions d'emploi font des progrès notables. C'est pourquoi le Federal Standard va s'enrichir de classes supplémentaires - par exemple la classe 100 - et va prendre en compte des particules plus fines - à partir de 0,1 µm. On arrive alors aux 13 classes de la version finale 209E dont les 6 les plus propres demandent des comptages à partir de 0,1 µm. L'ISO 14644-1 sera plus raisonnable avec 9 classes dont les 6 premières commencent à 0,1 µm (mais on peut convenir de ne les mesurer qu'à partir de 0,3 µm voire 0,5 µm) et les 3 autres à 0,5 µm.

Cette façon de procéder par classe granulométrique était traditionnelle en pollution des liquides et est d'ailleurs toujours utilisée.

Mais il restait un problème pratique dans le cas des classes ISO 1 à 4. En effet, la nécessité de compter au moins 20 particules par échantillon mène à des temps de prélèvement parfois excessivement longs. Le Federal Standard 209E et sa traduction dans l'annexe F de l'ISO 14644-1 propose une solution originale: l'échantillonnage progressif. C'est une méthode statistique, plutôt raffinée, qui a été mise au point et utilisée, à partir de 1940, par l'armée américaine pour des contrôles de qualité des composants de matériel militaire. Elle a été adaptée au cas des comptages arrivant à des temps aléatoires par D.W. Cooper, et proposée dans un article d'octobre 1990 du journal of the institute of environmental science. En simplifiant, on dispose de tables qui donnent, pour un empoussiérage égal à la limite de classe, les temps minimal et maximal dans la plage desquels on doit observer le comptage cumulé n (n compris entre 1 et 20). Si le comptage réellement observé sort de ces limites, on peut donc conclure avant d'avoir prélevé 20 particules.

Avec l'apparition de classes de propreté toujours plus exigeantes, il a fallu traiter ce problème, et c'est dans la version 209D que l'on donne la procédure de calcul à appliquer aux résultats expérimentaux. Même si elle apparaît un peu complexe au non-statisticien, il s'agit d'une méthode classique de calcul de l'incertitude sur une moyenne dont on admet qu'elle est distribuée suivant une loi de Student. La moyenne des comptages pour une taille particulaire, accompagnée de sa fourchette d'incertitude est comparée à la valeur limite correspondante.

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Les systèmes aérauliques, mini-environnements, conception de zones propres de classe ISO 3, ISO 4 et ISO 5.

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Annexe 4 : Classe d'étanchéité des registres suivant la norme EN 1751.

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Nous recherchons pour la construction d'une clean room classe 8, un fournisseur pouvant nous procurer des filtres avec moteur intégré (type MAC 10 IQ de General Electric).

CONSTRUCTION D'UNE CLEAN ROOM CLASSE 8.

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Fabricants d'éléments intégrés à un sol, assurant la circulation des personnels et pouvant accueillir des équipements. Ces éléments peuvent être revêtus et possèdent des caractéristiques de résistance mécanique, électrique et chimique. Pour les classes de propreté inférieures à ISO 5 (norme ISO 14-644 partie 1), ces planchers comprendront des perforations ou des ajours pour favoriser le guidage des flux d'air.

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Plus vastes et se rapprochant des préoccupations de terrain, les sessions Process industriels et Exploitation et Maintenance des installations et des équipements ont traité de propreté de pièces, de filtration des liquides au travers de l´arsenal normatif pour la qualification de cartouches, de qualification de réseau d´air comprimé au travers de la norme ISO 8573 et de ses 9 parties, mais aussi de maîtrise de la demande d´énergie et de retour d´expérience sur le réglage des pressions en salles propres.

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