Distributeurs d'appareils de mesure pour le contrôle des paramètres de fonctionnement d'une salle propre - Maintien en propreté des réseaux aérauliques pour salles propres

Constructeurs ou distributeurs d'appareils de mesure pour le contrôle des paramètres de fonctionnement d'une salle propre. Par exemple, les appareils peuvent être des compteurs optiques de particules, des aérobiocollecteurs, des anémomètres, des tubes de Pitot, un générateur d'aérosols et un photomètre, etc.

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Depuis la parution de la norme NF EN ISO 14644-1 en 1999, le terme de salle blanche a été remplacé par le terme de salle propre même si l'expression salle blanche est encore usitée oralement, voire par écrit. Rappelons la définition d'une salle propre suivant la norme NF EN ISO 14 644-1 : Salle dans laquelle la concentration de particules en suspension dans l'air est maîtrisée et qui est construite et utilisée de façon à minimiser l'introduction, la production et la rétention de particules à l'intérieur de la pièce et, dans laquelle d'autres paramètres pertinents tels que la température, l'humidité et la pression sont maîtrisés comme il convient.

Toutefois parmi tous les paramètres de construction et de fonctionnement d'une salle propre (salle blanche), c'est le risque poussière qui a été l'objet des évolutions les plus significatives, et c'est pourquoi la suite de ce texte sera centrée sur ce paramètre.

Durant cette période, les besoins industriels en propreté particulaire (particulièrement en microélectronique) s'affirment, et les performances des appareils de mesure ainsi que leurs conditions d'emploi font des progrès notables. C'est pourquoi le Federal Standard va s'enrichir de classes supplémentaires - par exemple la classe 100 - et va prendre en compte des particules plus fines - à partir de 0,1 µm. On arrive alors aux 13 classes de la version finale 209E dont les 6 les plus propres demandent des comptages à partir de 0,1 µm. L'ISO 14644-1 sera plus raisonnable avec 9 classes dont les 6 premières commencent à 0,1 µm (mais on peut convenir de ne les mesurer qu'à partir de 0,3 µm voire 0,5 µm) et les 3 autres à 0,5 µm.

Lire la suite : Historique des salles blanches et normalisation

Appareils de mesure : description et manipulation lors de travaux pratiques en salle propre.

Lire la suite : Métrologie des salles propres et environnements maîtrisés apparentés

Constructeurs ou distributeurs d'appareils de mesure pour le contrôle des eaux de process. Ce sont par exemple les analyseurs de carbone organique total, les conductimètres, etc.

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Le nettoyage ultrapropre des pièces de réacteur devient nécessaire pour l´optimisation des rendements sur plaquettes de silicium dans l´industrie de la microélectronique. Ce travail propose d´améliorer le nettoyage des pièces en axant la recherche sur les forces d´adhésion entre deux substrats d´alumine et leurs particules résiduelles en milieu aqueux. Après la caractérisation physico-chimique et la mesure de rugosité de nos systèmes, le calcul de la théorie DLVO est abordé. Une étude statistique de l´adhésion est développée en comparant les mesures de forces par microscopie à force atomique avec une particule d´alumine collée sur le levier et la théorie DLVO appliquée sur les surfaces rugueuses.

Nous avons investigué des méthodes de nettoyages pouvant vaincre cette adhésion, et en particulier l´apport d´énergie dans le milieu par ondes ultrasonores. Dans ce sens, une méthode de mesure de la densité particulaire surfacique a été développée en fonction des paramètres intrinsèques aux ultrasons sur chaque substrat. Les moyens d´amélioration, toujours à l´aide d´ultrasons, ont été les nettoyages par l´augmentation de la température, la variation du pH des solutions et l´ajout de tensioactifs.

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La session Nanoparticules a fait le point sur les connaissances disponibles concernant les risques et les mesures de prévention en santé et sécurité au travail. Des communications ont dressé l´état de l´art sur la métrologie et la filtration des nanoparticules, sachant que ces deux thèmes sont bien maîtrisés en physique des aérosols. Toutefois, des évolutions sont nécessaires, à la fois, pour disposer d´outils de mesure de terrain accessibles (à condition que soit bien déterminé le paramètre que l´on cherche à mesurer : nombre, surface…) et pour obtenir des constructeurs de filtre HEPA ou ULPA des données sur l´efficacité des filtres pour des tailles inférieures à 10 nm.

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Hormis la série de normes ISO 14 644, aucun document de référence pratique n´existe à ce jour sur les revêtements de sols pour les environnements maîtrisés. Or le choix judicieux des sols de salle propre en fonction des domaines d´activités, des matériels et produits utilisés, l´attention à apporter à leur pose et leur entretien, seront autant d´atouts pour faire en sorte que la salle propre soit et reste conforme aux exigences de propreté requise.

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