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Le Compteur optique de particules : caractéristiques et conditions d´emploi.
Lire la suite : Métrologie des salles propres et environnements maîtrisés apparentés
Du côté des conditions de mesurage des poussières, en supposant que les compteurs sont correctement étalonnés et que leur rendement de comptage au dessous de 1 µm est connu (pour corriger les résultats expérimentaux), il reste à effectuer un prélèvement représentatif et à le transporter avec un minimum de pertes vers la cellule optique. Ces problèmes ayant été largement traités en physique des aérosols, on donne, dans ISO 14644-3, les règles à appliquer pour prélever et transporter - B-1-3-, et on renvoit au Federal Standard 209E pour les formules de correction à utiliser (voir également article de Bernard THAVEAU, revue Salles propres & maîtrise de la contamination - dossier : Mesurage des contaminants, les outils et les méthodes - article : Compteur optique de particules, Les précautions à prendre).
La première tentative de classification par le TO 00-25 avait été l'objet de diverses critiques portant entre autres sur la prise en compte de particules de 0,3 µm, une taille théoriquement accessible au compteur optique. Cependant, à cette époque, les mesurages à ce niveau étaient illusoires. Revenir à 0,5 µm était une option raisonnable, d'autant plus qu'elle offrait la possibilité de construire des compteurs à grand débit (1 pied cube/min = 28,3 l/min). Toutes ces considérations mènent alors au tableau initial du Federal Standard 209 publié le 16 décembre 1963 :.
Le principe du mesurage optique des aérosols avait été décrit en physique des aérosols avant la seconde guerre mondiale. Le développement d'un compteur, capable de compter une à une des poussières, se heurtait à des difficultés théoriques et technologiques. Néanmoins, vers 1955, la firme Royco présente ses premiers prototypes. Les premiers compteurs commercialisés (électronique à lampes) étaient volumineux (une armoire) et lourds (plus de 100 Kg), mais ils vont permettre à l'US Air Force de mesurer ce que l'on pouvait trouver dans les salles blanches de l'époque.
0,1 µm. La physique des aérosols a développé, dès 1950, les compteurs de noyaux de condensation (CNC). Il s'agit d'appareils qui, par condensation de vapeurs organiques, font grossir les particules les plus fines jusqu'à ce qu'elles aient une taille mesurable par voie optique. Ces appareils sont disponibles commercialement, mais ils ne peuvent donner qu'une réponse proportionnelle à l'ensemble des particules supérieures à un seuil situé vers 0,02 µm (il existe des adaptations accédant à la distribution granulométrique mais peu commodes sur le terrain).
Depuis la parution de la norme NF EN ISO 14644-1 en 1999, le terme de salle blanche a été remplacé par le terme de salle propre même si l'expression salle blanche est encore usitée oralement, voire par écrit. Rappelons la définition d'une salle propre suivant la norme NF EN ISO 14 644-1 : Salle dans laquelle la concentration de particules en suspension dans l'air est maîtrisée et qui est construite et utilisée de façon à minimiser l'introduction, la production et la rétention de particules à l'intérieur de la pièce et, dans laquelle d'autres paramètres pertinents tels que la température, l'humidité et la pression sont maîtrisés comme il convient.
Lire la suite : Historique des salles blanches et normalisation
- mesurer à l´aide d´un compteur optique une cinétique de décontamination dans une enceinte à échelle réduite et appréhender son mécanisme (cf. photo ci-dessous),.
Lire la suite : ASPEC - ASsociation pourla Prévention et l'Etude de la Contamination
Dans le contexte du projet Laser MégaJoule (LMJ), l´objectif de cette thèse était l´étude de la pollution particulaire déposée sur un composant optique d´une chaîne laser de puissance. L´intérêt de ce travail était de déterminer l´influence de la pollution dans le processus d´endommagement des composants optiques sous un rayonnement laser intense. Pour cela, nous avons mis en oeuvre deux types d´approches : l´une consacrée à l´étude in situ des particules recueillies dans le prototype du LMJ, la Ligne d´Intégration Laser (LIL) et l´autre reposant sur des particules modèles. Ces deux approches menées parallèlement ont permis de caractériser la pollution particulaire et d´analyser son influence sur l´état de surface des composants optiques soumis à un flux laser intense. Nous avons également étudié le phénomène d´enlèvement des particules de surfaces représentatives des composants optiques transmissif de la LIL sous le rayonnement laser. Bien que les fluences du faisceau de la LIL soient élevées, cet enlèvement de particules est souvent incomplet. Nous avons donc proposé un protocole pour éliminer de façon nette la particule sans fragiliser le substrat.
Lire la suite : ASPEC - ASsociation pourla Prévention et l'Etude de la Contamination
Constructeurs ou distributeurs d'appareils de mesure pour le contrôle des paramètres de fonctionnement d'une salle propre. Par exemple, les appareils peuvent être des compteurs optiques de particules, des aérobiocollecteurs, des anémomètres, des tubes de Pitot, un générateur d'aérosols et un photomètre, etc.
MATÉRIELS ET INSTRUMENTS DE MESURAGE DES PARAMÉTRES DES SALLES PROPRES (compteurs optiques de particules, anémomètres, tubes de Pitot, etc.).
Lire la suite : ASPEC
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